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微電子工廠純水設備系統使用膜技術實況
現以某微電子工廠中的純化水設備工程使用膜技術的應用實例實況,說明膜技術在電子工業純化水制造中的應用。其純化水制造系統工藝流程見圖。
  1.前級UF
  前級UF是用于去除水中的懸濁物、膠體及有機物,降低水的SDI值,確保RO的安全運行。前級UF有5組,每組45根組件,共225根組件,進水280m3/h,透過水250 m3/h,濃縮水排放,回收率約90%。UF組件為美國Romicon公司生產,型號HF-BZ-20-PM80,組件直徑5in,長43in,內壓式中空纖維膜,纖維直徑20mil(0.51mm),共有2940根纖維,膜面積132ft2,膜材料為PS(聚砜),截留分子量8萬。UF前采用5μm保安過濾器。
  2.一級RO
  水中加入還原劑Na2SO3(加藥量為水中余氯值的1.8倍)以防止余氯氧化腐蝕RO膜,加入防垢劑(NaPO3)6(加藥量為5ppm)以防止CaCO3、CaSO4等在RO膜上結垢,再經5μm 保安過濾器后由高壓泵打進一級RO。一級RO有4組,均為二段。其中三組為每組8根膜容器,呈(5+3)排列,第4組為11根膜容器,呈(8+3)排列,膜容器由FRP(玻璃鋼)制成,每根內裝6個RO元件,總共為210個RO元件,進水250m3/h,透過水188m3/h,濃縮水排放,回收率為75%,脫鹽率>90%(初始脫鹽率>99%),操作壓力1.55Mpa。RO元件為美國HYDRANAUTICS(海德能)公司生產,型號CPA3。元件直徑8in,長40in,卷式膜,膜面積400ft2,膜材料為芳香聚酰胺復合膜,元件脫鹽率≥99.5%。
  3.二級RO
  一級RO水箱出水中一部分進入A系統,先加NaOH(CP級)調節pH為8.2-8.6,使水中CO2生成HCO3-,被二級RO除去,以減輕混床離子交換的負擔,采用二級RO可以使混床再生周期延長一倍,減少再生酸堿耗量,并可進一步去除TOC和膠體物質。二級RO前采用3μm保安過濾器,二級RO為一組三段,共10根膜容器,按(6+3+1)排列,每根容器內裝6只RO元件,共60只RO元件,進水70m3/h,出水62m3/h,濃水排至超濾水箱,回收率為90%,脫鹽率>70%(初始脫鹽率>80%),RO元件的生產廠、型號與一級RO相同。
  4.后級UF
  后級UF是用于去除水中的微粒、微生物、膠體、有機物等的終端過濾設備。
  A系統后級UF為3組,每組18支,共54支組件,進水92 m3/h,出水90 m3/h,濃水排至一級RO水箱,回收率約98%。UF組件為美國Romicon公司生產,型號HF-132-20-PM10,組件直徑5in,長43in,內壓式中空纖維膜,纖維直徑20mil(0.51mm),共有2940根纖維,膜面積132ft2,膜材料為PS(聚砜),截留分子量1萬。
  B系統后級UF為8組,每組9支,共72支組件,進水168 m3/h,出水164 m3/h,回收率約98%,UF組件制造廠及型號與A系統后級UF相同。
  C系統后級UF有3支組件,進水4 m3/h,出水3.9 m3/h,回收率約98%,UF元件為美國HYDRANAUTICS公司生產,型號4040-FTV-2120,組件直徑3.94in,長40in,卷式膜,膜面積55ft2,膜材料為聚烯烴,截留分子量5萬。
  5.微濾
  本系統的微濾可分為三類,第一類為前級UF、RO前的保安過濾器,用于去除水中的懸濁物微粒,降低水的SDI值,濾芯為PP(聚丙烯)膜摺迭式濾芯,孔徑為5μm或3μm。第二類在離子交換后,用于濾除離子交換樹脂碎片,濾芯為PP膜摺迭式濾芯,孔徑為1μm。第三類在UV殺菌器后,用于濾除微生物尸體,濾芯為N-6(尼龍6)膜摺迭式濾芯,孔徑為0.45μm或0.2μm。以上濾芯均為核工業部第八研究所生產。
  除上述水站外,該廠還有另幾套高純水制造系統,RO除使用復合膜元件外,還有使用CA醋酸纖維素膜元件。 

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